Business unit
태양광
SEABatch XL
n-type 고효율 태양전지에 최적화된 시스템
Batch 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 Batch Application
- Alkaline / Acidic texturing / Oxidation
- pSC1 / SC2 / O3 cleaning
- TOPCon, PERC, HIT
13800
최대 생산량
- 600 wafers load
- up to 12,000 w/h
210
Wafer 크기
최대 M12 (210 x 210mm)
높은 dosing 정확도
+/- 2%
Metal 성분 제로
완벽 건조
SEAline XL
n-type Inline 시스템에 최적화된 장비 시스템
Features & Benefits
다양한 Inline application
- HF/Metal Cleaning
- RCA & O3 Cleaning
- Developing / Etching / Striping
- Electrical deposition
210
Wafer 크기
최대 M12 (210 x 210mm)
다양한 세정 솔루션
- Roller brush / Disc brush
- Bubble jet
- Ultrasonic / Plasma
파티클(Particle) 제로 설계
완벽 건조
Glass (Thin film, FPD)
SEAline Glass Cleaner
Solar Thinfilm Glass에 최적화된 시스템
분진제로 설계
Features & Benefits
다양한 Inline application
- RCA & O3 Cleaning
- Developing / Etching / Striping
다양한 세정 solutions
- Roller brush / Disc brush
- Bubble jet
- Ultrasonic / Plasma
Glass 크기
Generation 7
완벽 건조
파티클(Particle) 제로 설계
반도체
SEAbatch SEMI
Batch 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 Batch application
- RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
- Developing / Etching / Stripping
- Oxidation / Special drying
높은 dosing 정확도
+/- 2ml
완벽 건조
생산 가능 기판
- Si wafer up to 300mm
- Glass / Ceramics up to 500x500mm
파티클(Particle) 최소화
- RCA cleaning < 30EA
- Dry < 30EA
Metal 성분 제로